1,近幾年來,由于半導體芯片在電腦,通信等領域的廣泛應用,半導體制造業也在全球得到了飛速發展。在半導體制造業中,由于其昂貴設備的敏感性和制造過程的復雜性,工廠的布局變得不可以輕易更改,初始的不良布局結果會導致龐大的物料搬運成本、無效的生產以及重新布局時所需要的大量成本。因此,凈化車間的設施規劃已經成為半導體制造商們關心的問題,在建廠初期他們就不得不對工廠進行謹慎詳細的規劃。這樣,工廠投產以后整體生產系統才能發揮的生產效能。
2, 設施規劃的內容和定義
各種文獻對設施規劃定義的表述不盡相同,但在制造業中都是把設施規劃定義為對一個生產系統進行的、系統的規劃和安排,這種規劃和安排是有目的的,這就是要確定經濟合理的投入,使設施得到優化的配置,以支持整個系統實現有效的運行,獲得期望的產出。從凈化工程的角度考察,設施規劃的范圍被界定為廠址選擇和設施設計兩個組成部分。在制造業中,設施設計又包含了凈化車間設備布局設計和物料搬運系統設計兩個互相關聯的內容。設備布局設計是對機器、設備、運輸通道、場地,按照物流、、信息流的合理需要,做出有機組合和合理安排,物料搬運系統設計則是對物料搬運的路線、運量、搬運方法和設備、儲存場地等做出合理安排。半導體制造車間的設施規劃包括設備布局設計和物料搬運系統設計兩個方面,通過這兩方面的設計和優化,終能提高半導體廠的生產效率
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